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德国ERS 半自动热拆键合MDM300/330
MDM300/330是专为研发实验室和新技术试产期间的试生产线设计的 款半自动热拆键合机。
ERS MDM300系统是 种用于半自动分离晶圆与载体（热拆键合）的FOWLP技术。该机器通过释放热量将载体剥离。该系统可供，以保证热拆键合后的晶圆质量。
它提供半自动PLC控制，而且 多可存储100多种配方。该机器具有较高的可重复操作性： 可以使用预设参数进行自动热拆键合，然后手动脱胶， 后进入全自动翘曲矫正程序。
MDM300具有两种操作模式：热拆键合和翘曲调整以及独立的翘曲矫正功能。
另外，我们还提供 些特殊的技术支持，例如在重新分布后，对易氧化的晶圆采用的无氧三温滑动专利技术。
该工具专为研发实验室和新技术试产期间的试生产线设计的。